| Ultra vakuma ihtiyaç duymadan kolay kullanım özelliğine sahiptir | |
| Micron/dakika hızında çalışma,1 nm katmana kadar çalışabilme özelliği | |
| İletken veya iletken olmayan numunelerde çalışma kolaylığı | |
| Kantitatif Deep profile (Katmansal) analizi | |
| H,0,N,CI dahil, tüm elementler hakkında bilgi edinebilme | |
| ISO 14707 ve ISO 16962'ye uygun çalışma özelliği |
