Kimyasal dirençli vakum pompası sistemi, kimyasal dirençli diyafram vakum pompası, taban plakası, emiş tarafında ayırıcı, basınç tarafında yüksek performanslı kondansatör ve vakum kontrol cihazından oluşur. Döner buharlaştırma ve vakum seviyesinin kontrolünün önemli olduğu diğer uygulamalar için idealdir.